朱龙源

作品数：14被引量：23H指数：2
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供职机构：中国科学院上海技术物理研究所更多>>
发文主题：碲镉汞红外探测器碲镉汞材料铟柱碲镉汞红外探测器更多>>
发文领域：电子电信理学航空宇航科学技术机械工程更多>>
发文期刊：《红外与毫米波学报》《半导体光电》《红外与激光工程》《激光与红外》更多>>
所获基金：国家自然科学基金中国科学院知识创新工程上海市科学技术委员会资助项目上海市自然科学基金更多>>
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GaAs/AlGaAs量子阱长波10.55μm红外焦平面探测器被引量：1
《红外与激光工程》2020年第1期69-74,共6页李向阳 李宁 许金通 储开慧 徐国庆 王玲 张燕 朱龙源 王继强 陆卫 
利用GaAs/AlGaAs量子阱结构,研制了像元规模为640×512、中心响应波长在10.55μm附近的红外焦平面阵列器件,与50 K集成式制冷机耦合后,测试了相关性能,其等效噪声温差达到22.5 mK。焦平面组件通过了初步的开关机试验以及热真空试验后,...
关键词：量子阱红外焦平面探测器 长波红外 光耦合优化 
ICP刻蚀气压对碲镉汞电学性能的影响
《半导体光电》2017年第1期61-65,69,共6页操神送 杜云辰 朱龙源 兰添翼 赵水平 罗毅 乔辉 
国家自然科学基金项目(11304335)
研究了利用ICP(Inductively Coupled Plasma)干法刻蚀工艺制备长波碲镉汞光导器件过程中刻蚀气体压强对材料电学参数的影响。发现增大气体压强会导致材料的电学性能衰退,表现为材料的载流子浓度增加、迁移率降低以及电阻率增加。分析认...
关键词：ICP干法刻蚀 碲镉汞光导材料 刻蚀气压 电学特性 
化学机械抛光产生的碲镉汞材料亚表面损伤层的研究被引量：1
《红外与激光工程》2016年第12期1-5,共5页乔辉 陈心恬 赵水平 兰添翼 王妮丽 朱龙源 李向阳 
国家自然科学基金(11304335)
针对化学机械抛光工艺对碲镉汞材料所产生的亚表面损伤层进行了研究。利用椭圆偏振光谱方法对经过腐蚀剥层的碲镉汞材料表面进行了光学表征,认为化学机械抛光工艺造成的亚表面损伤层的深度大概为抛光工艺中所使用研磨颗粒直径的15~20倍...
关键词：化学机械抛光 亚表面损伤 椭圆偏振 少子寿命 碲镉汞 
感应耦合等离子体干法刻蚀中光刻胶掩模的异常性被引量：2
《半导体光电》2016年第1期59-62,共4页乔辉 刘诗嘉 刘向阳 朱龙源 兰添翼 赵水平 王妮丽 李向阳 
国家自然科学基金项目(61106097)
利用光刻胶作刻蚀掩模对半导体样品进行感应耦合等离子体干法刻蚀时发现光刻胶掩模在刻蚀后表面出现凸起和孔洞等异常现象,等离子体会透过部分孔洞对样品表面产生刻蚀损伤。利用探针式表面轮廓仪和激光共聚焦显微镜对这些异常现象进行...
关键词：刻蚀 干法刻蚀 刻蚀掩模 光刻胶 感应耦合等离子体 
光导型碲镉汞红外器件的曲面延伸电极工艺评价
《红外技术》2011年第6期328-331,344,共5页钱大憨 贾嘉 陈昱 王韡 汤亦聃 朱龙源 李向阳 
国家自然科学基金项目;编号:60907048;上海市自然科学基金项目;编号:09ZR1436200
制备了一种带有曲面延伸电极结构的碲镉汞光导型红外探测器,对曲面延伸电极的抗低温冲击能力进行了研究,在9次的液氮直接冲击下曲面延伸电极完好,器件电阻无大变化。通过扫描电子显微镜(SEM)对曲面延伸电极的台阶侧面微观形貌进行观察,...
关键词：曲面延伸电极 光导型碲镉汞红外探测器 电阻表征 扫描电子显微镜 微观形貌 
红外焦平面可靠性封装技术被引量：10
《红外与毫米波学报》2009年第2期85-89,共5页龚海梅 张亚妮 朱三根 王小坤 刘大福 董德平 游达 李向阳 王平 朱龙源 方家熊 
国家自然科学基金重点(50632060);中国科学院创新基金(CXJJ-239)资助项目
系统研究了红外焦平面组装、封装及其可靠性技术,解决了组件结构模拟、子模块精确定位、扁平引线设计、低漏率激光焊接、杜瓦内表面气体解吸分析及其解决途径等理论与技术问题,进行了组件可靠性、器件的高能粒子辐照与激光辐照等试验,...
关键词：红外焦平面 封装 可靠性 
Cl_2/Ar/BCl_3ICP刻蚀AlGaN的研究被引量：1
《微纳电子技术》2007年第7期7-9,共3页陈亮 亢勇 朱龙源 赵德刚 李向阳 龚海梅 
感应耦合等离子体(ICP)刻蚀在AlGaN基紫外探测器台面制作中起着重要作用。在对比了ICP与RIE,ECR等干法刻蚀技术优缺点的基础上,采用Ni作为掩膜,Cl2/Ar/BCl3作为刻蚀气体,对金属有机化学气相淀积生长的n-Al0.45Ga0.55N进行了ICP刻蚀研究...
关键词：感应耦合等离子体 铝镓氮 扫描电镜 俄歇电子能谱 
表面二次阳极氧化对HgCdTe光导器件性能的影响被引量：2
《半导体光电》2007年第1期72-75,共4页汤英文 朱龙源 游达 许金通 刘诗嘉 庄春泉 李向阳 龚海梅 
采用微波光电导衰退法(μ-PCD)测试了二次阳极氧化膜和传统氧化膜钝化的中波n型HgCdTe芯片的少子寿命。利用俄歇电子能谱(AES)研究了传统方法与新方法生成的氧化膜的组分变化。结果表明二次阳极氧化能显著提高少数载流子寿命,采用此工...
关键词：HGCDTE 阳极氧化 微波光电导衰退法 俄歇电子能谱 光导型探测器 
碲镉汞阳极氧化层的化学结构分析被引量：3
《红外与激光工程》2006年第2期208-211,共4页王平 朱龙源 李向阳 龚海梅 
上海市科学技术委员会资助项目(01QA14045)
碲镉汞(MCT)由于其特殊的禁带宽度,成为一种重要的红外探测器半导体材料。其表面复合中心会严重影响探测器性能,为了减少复合中心及保持电学和化学稳定性,表面钝化成为必不可少的工艺步骤。根据碲、镉、汞3种元素在碱性溶液中的电极电势...
关键词：碲镉汞 电极电势 俄歇电子能谱 
碲镉汞红外探测器的分步式阳极氧化新方法研究
《半导体光电》2005年第B03期96-100,共5页陆胜天 李萍 刘诗嘉 朱龙源 龚海梅 
采用小电流腐蚀、脉冲电流钝化、恒压退火的分步式阳极氧化钝化新方法对碲镉汞红外探测器进行表面钝化，利用扫描电镜(SEM)、俄歇电子能谱(AES)对传统恒流方法和新方法生成的两种阳极氧化膜进行测试比较。结果表明，新方法生长的阳极氧...
关键词：碲镉汞 阳极氧化 红外探测器 脉冲电流钝化 恒压退火 
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