量子阱红外焦平面探测器

作品数:8被引量:43H指数:4
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相关作者:李献杰陆卫史衍丽冯震李宁更多>>
相关机构:昆明物理研究所中国电子科技集团第十三研究所中国科学院华北光电技术研究所更多>>
相关期刊:《红外与激光工程》《激光与红外》《微纳电子技术》《红外技术》更多>>
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GaAs/AlGaAs量子阱长波10.55μm红外焦平面探测器被引量:1
《红外与激光工程》2020年第1期69-74,共6页李向阳 李宁 许金通 储开慧 徐国庆 王玲 张燕 朱龙源 王继强 陆卫 
利用GaAs/AlGaAs量子阱结构,研制了像元规模为640×512、中心响应波长在10.55μm附近的红外焦平面阵列器件,与50 K集成式制冷机耦合后,测试了相关性能,其等效噪声温差达到22.5 mK。焦平面组件通过了初步的开关机试验以及热真空试验后,...
关键词:量子阱红外焦平面探测器 长波红外 光耦合优化 
长波640×512元GaAs/AlGaAs量子阱红外焦平面探测器的研制被引量:3
《激光与红外》2010年第11期1220-1223,共4页胡小燕 周立庆 于艳 杜鹏 谭振 王南 孙海燕 
量子阱红外探测器由于具有更高的材料均匀性和成品率,是红外探测技术研究的重点方向之一。本文通过突破材料外延、器件制备工艺、读出电路设计以及倒装互连等关键工艺技术,研制了长波640×512元GaAs/A lGaAs量子阱红外焦平面探测器。77 ...
关键词:量子阱 焦平面 长波 
2μm像元间距GaAs/AlGaAs量子阱红外焦平面探测器被引量:6
《红外与激光工程》2008年第6期968-971,共4页史衍丽 曹婉茹 周艳 杨明珠 何丹 
武器装备预研先研究资助项目(40405030104)
量子阱焦平面探测器具有大面阵焦平面探测器重复性和均匀性好、成品率高、成本低等明显的产业化优势,在军民两用领域获得了广泛而重要的应用。为了尽快研制出全国产化高性能量子阱红外焦平面探测器,通过完全正向的器件设计,采用常规光...
关键词:GAAS/AIGAAS 量子阱红外探测器 长波 焦平面 噪声等效温差 
基于MOCVD技术的长波AlGaAs/GaAs量子阱红外焦平面探测器被引量:10
《红外与激光工程》2007年第4期435-438,共4页李献杰 刘英斌 冯震 过帆 赵永林 赵润 周瑞 娄辰 张世祖 
电子支撑基金资助项目(41501070402)
采用n型掺杂背面入射AlGaAs/GaAs量子阱结构,用MOCVD外延生长和GaAs集成电路工艺,设计制作了大面积AlGaAs/GaAs QWIP单元测试器件和128×128、128×160、256×256 AlGaAs/GaAsQWIP焦平面探测器阵列。用液氮温度下的暗电流和傅里叶红外...
关键词:MOCVD ALGAAS/GAAS 量子阱红外探测器 红外热成像 
量子阱红外探测器焦平面阵列的商业化进程被引量:3
《红外与激光工程》2007年第z1期175-183,共9页李献杰 齐丽芳 
从量子阱红外焦平面探测器(QWIP)产品商业化入手,介绍了各国量子阱红外焦平面探测器及相关产品的商用化情况,并讨论了量子阱红外焦平面阵列和相关QWIP产品在武器装备、工业控制、医疗等方面的应用;最后探讨了国内QWiP技术的研发现状和...
关键词:量子阱红外焦平面探测器 商用化 热像仪 
128×128GaAs量子阱红外焦平面探测器阵列铟柱制备被引量:4
《微纳电子技术》2006年第11期512-514,共3页杨孟丽 冯震 
对量子阱红外探测器研制中通常采用的铟膜制备和铟柱生长技术进行了研究。从铟源的选择及蒸发的方法、距离、真空度的控制等方面做了大量实验,优化出了最佳工艺条件。铟源的纯度99.99%,电子束蒸发厚金属膜,旋转行星夹具,蒸发距离39cm,1...
关键词:量子阱红外焦平面探测器 铟柱 电子束蒸发 
国外量子阱红外焦平面探测器的发展概况被引量:13
《红外技术》2005年第4期274-278,共5页史衍丽 
以GaAs/AlGaAs为代表的Ⅲ-Ⅴ量子阱红外焦平面探测器因其成熟的材料生长和器件工艺技术,一直是与传统的HgCdTe红外探测器并驾齐驱的红外探测器。近十年来随着对器件结构、机理及器件工艺的不断改进,大面阵Ⅲ-Ⅴ量子阱红外焦平面器件发...
关键词:红外焦平面探测器 量子阱 发展概况 红外焦平面器件 红外探测器 国外 HGCDTE 工艺技术 材料生长 GAAS 器件结构 器件工艺 研究发展 欧美国家 产品现状 面阵 
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