铟柱

作品数：23被引量：45H指数：4
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大面阵碲镉汞芯片的耦合热应力模型与结构优化
《红外》2023年第10期1-9,共9页王晗 吴卿 王超 安泽琳 王如志 
国家自然科学基金项目(62005318)。
针对大面阵碲镉汞芯片热应力仿真分析过程中计算量与准确性不能兼容的问题,通过在芯片互联区的不同位置引入小规模铟柱阵列建立了耦合热应力的优化仿真模型。借助此模型进行热应力分析,发现在铟柱的上下表面附近区域产生了较大的热应力...
关键词：红外探测器 有限元分析 热应力 铟柱 
不同像元间距红外探测器的铟柱生长研究被引量：1
《红外》2023年第7期1-7,共7页张鹏 马毅 聂媛 
分析了红外探测器铟柱生长工艺中不同像元间距情况下铟柱光刻孔内部的铟沉积情况和微观结构。解释了10μm小像元间距条件下铟柱高度较矮的原因,并给出了像元间距大小与剥离后铟柱高度之间的关系。针对10μm及以下像元间距红外探测器的...
关键词：红外探测器 铟柱 像元间距 
红外探测器倒装互连工艺中的铟柱高度研究被引量：1
《激光与红外》2023年第2期271-275,共5页刘森 黄婷 赵璨 张磊 
针对制冷型红外焦平面探测器倒装互连工艺中的铟柱高度展开了调研,结果显示目前行业内关于该工艺中的铟柱高度设计的离散性较大,铟柱高度范围为5~24μm,差值达到了19μm。本文构建了包含探测器芯片、铟柱、填充胶、钝化层和UBM的像元级...
关键词：IRFPA 铟柱 倒装互连 高度 
铟柱高度快速测量方法研究
《红外》2022年第2期15-21,共7页张鹏 冯晓宇 张轶 
在红外探测器铟柱蒸发的工艺试验中,有需要测量大量铟柱高度的情况,因此对铟柱高度测量方法进行了研究。手动逐点测量铟柱高度方式的结果较为准确,但是测量速度比较慢,消耗时间比较多。快速自动测量的方法使用了显微镜的扫描功能,并利...
关键词：红外探测器 铟柱 互连 高度测量 
10μm间距红外探测器铟柱制备研究被引量：1
《红外》2022年第1期6-10,共5页马涛 谢珩 刘明 宁提 谭振 
小间距红外探测器目前已成为红外探测器技术发展的一个重要方向。用于连接探测器芯片与读出电路芯片的铟柱的制备工艺水平成为影响器件性能的一个重要因素。介绍了一种10μm间距红外探测器铟柱的制备工艺。新工艺采用多次铟柱生长结合...
关键词：铟柱 离子刻蚀 10μm间距 红外探测器 
10μm小间距红外探测器的铟柱生长研究被引量：2
《激光与红外》2020年第10期1218-1222,共5页张鹏 李乾 
在10μm小间距的条件下进行红外探测器的铟柱生长工艺,会得到铟柱高度不足的结果;本文针对这种情况,开展了小间距的铟柱生长研究,比较了在不同基片温度和蒸发速率条件下的铟柱高度,并分析了试验结果,得到了最优的生长工艺条件。
关键词：红外探测器 铟柱 小间距 
碲镉汞集成偏振探测器应力分析被引量：1
《激光与红外》2020年第9期1104-1108,共5页林国画 徐长彬 吴卿 李雪梨 
红外碲镉汞集成偏振探测器的结构是采用多个芯片叠层的方式,由于各层的材料不同,热膨胀系数不同,在低温下工作时各层界面之间存在应力,应力控制的不好会造成芯片裂片等情况,导致探测器性能劣化或无法使用。本文对长波320×256碲镉汞集...
关键词：碲镉汞集成偏振探测器 应力 铟柱 减薄 
InSb面阵探测器铟柱缺陷成因与特征研究被引量：5
《红外与毫米波学报》2018年第3期325-331,350,共8页侯治锦 傅莉 鲁正雄 司俊杰 王巍 吕衍秋 
航空创新基金(2011D01406)~~
通过基于正性光刻胶的不同像元尺寸铟柱阵列及器件制备,研究In Sb面阵探测器铟柱缺陷成因与特征.分别研制了像元尺寸为50μm×50μm、30μm×30μm、15μm×15μm的面阵探测器的铟柱阵列,并制备出In Sb面阵探测器,利用高倍光学显微镜和...
关键词：面阵探测器 铟柱缺陷 铟柱阵列 缺陷 
铟凸点对倒装互连影响的研究被引量：3
《红外技术》2016年第4期310-314,共5页杨超伟 闫常善 王琼芳 李京辉 韩福忠 封远庆 杨毕春 左大凡 赵丽 俞见云 
制作了2种形式的铟凸点:即直接蒸发沉积的铟柱和将铟柱回流得到的铟球。分别讨论了铟柱和铟球对倒装互连的影响,着重讨论了铟球和铟柱分别和芯片倒装互连后的剪切强度,结果发现在互连未回流的状态下铟球的剪切强度是铟柱的1.5倍,回流后...
关键词：铟凸点 铟柱 铟球 倒装互连 
具有TDMI功能的640×512双色碲镉汞焦平面读出电路
《红外技术》2015年第12期1016-1021,共6页白丕绩 李敏 王博 陈虓 梁艳 洪建堂 李立华 
国防预研基金
研制出一种应用于单铟柱结构的长/中波双色叠层碲镉汞640×512焦平面CMOS读出电路(ROIC)。根据单铟柱结构的双色叠层碲镉汞探测器实际应用需求,读出电路设计了单色长波积分/读出、单色中波积分/读出、长/中波双色信号顺序积分/读出、长...
关键词：长/中波双色焦平面 单铟柱双色叠层结构 双色读出电路 时分多路积分 
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