冷健

作品数：9被引量：25H指数：3
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供职机构：天津津航技术物理研究所更多>>
发文主题：长波光学薄膜膜层光学常数分色更多>>
发文领域：理学电子电信机械工程文化科学更多>>
发文期刊：《红外与激光工程》《物理学报》《光学学报》《红外与毫米波学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金天津市自然科学基金中国博士后科学基金国家重大科学仪器设备开发专项更多>>
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热处理对双离子束溅射SiO_2薄膜力学及热力学特性的影响（英文）被引量：5
《红外与激光工程》2018年第6期186-191,共6页冷健 季一勤 刘华松 庄克文 刘丹丹 
国家自然科学基金(61775167,61405145,61235011,61705165);天津市自然科学重点基金(15JCZDJC31900);中国博士后科学基金(2015T80115,2014M560104)
光学薄膜的力学及热力学特性决定了光学系统性能的优劣。采用双离子束溅射的方法在硅<110>和肖特石英Q1基底上制备了SiO_2薄膜,并对制备的膜层进行退火处理。系统研究了热处理前后SiO_2薄膜的力学及热力学特性。研究结果表明,750℃退火...
关键词：双离子束溅射 SIO2薄膜 退火 力学及热力学特性 
离子束溅射法制备碳化锗薄膜的红外光学特性和力学特性（英文）被引量：1
《红外与毫米波学报》2016年第2期133-138,共6页孙鹏 胡明 张锋 季一勤 刘华松 刘丹丹 冷健 杨明 李钰 
Supported by National Natural Science Foundation of China(61235011);the Science and Technology Commission of Tianjin Municipality(13JCYBJC17300,12JCQNIC01200)
采用离子束溅射法通过在CH4和Ar的混合气体中溅射Ge靶材制备碳化锗(Ge_(1-x)C_x)薄膜.分别通过原子力显微镜、拉曼光谱和X射线光电子能谱、傅里叶变换红外光谱以及纳米压痕测试研究了薄膜的表面形貌、化学结构、光学特性和力学特性.同...
关键词：离子束溅射沉积 碳化锗 红外光学特性 机械特性 
离子束溅射制备氧化物薄膜沉积速率调整方法被引量：3
《红外与激光工程》2014年第7期2192-2197,共6页刘华松 傅翾 季一勤 张锋 陈德应 姜玉刚 刘丹丹 王利栓 冷健 庄克文 
国家自然科学重点基金(61235011);国家重大科学仪器与设备专项(2012YQ040164);天津市自然科学基金(14JCQNJC02400;12JCQNIC01200;13JCYBJC17300)
采用正交试验设计方法,系统研究了离子束溅射HfO2、Ta2O5和SiO2薄膜的沉积速率与工艺参数(基板温度、离子束压、离子束流和氧气流量)之间的关联性。采用正交表L9(34)设计了9组实验,采用时间监控的离子束溅射沉积方法,分别制备HfO2、Ta2O...
关键词：离子束溅射 HFO2薄膜 Ta2O5薄膜 SIO2薄膜 沉积速率 
毫米波在SiO_2基底材料中的传播特性被引量：1
《红外与激光工程》2014年第4期1145-1149,共5页刘华松 余俊宏 冷健 庄克文 季一勤 
国家自然科学基金(61235011);国家重大科学仪器设备开发专项资金(2012YQ040164);天津市科委项目(12JCQNIC01200;13JCYBJC17300)
红外/毫米波分频器件是红外/毫米波复合探测系统的关键器件之一。利用电磁波干涉理论计算和分析了介质材料特征参数对毫米波透射、反射和吸收性能的影响。针对工作频率为35GHz的电磁波,给出了介质材料厚度设计的准则,分析了SiO2材料不...
关键词：红外 毫米波 物理厚度 厚度偏差 
金属氧化物薄膜在中波红外光谱区内光学常数色散特性被引量：11
《光学学报》2014年第8期337-342,共6页刘华松 季一勤 张锋 刘丹丹 冷健 王利栓 姜玉刚 陈德应 焦宏飞 鲍刚华 程鑫彬 
国家自然科学重点基金(61235011);国家重大科学仪器专项(2012YQ040164);天津市自然科学基金(13JCYBJC17300);天津市自然科学青年基金(14JCQNJC02400;12JCQNIC01200)
基于金属氧化物薄膜材料在中波红外波段应用的需求,研究了含水状态的TiO2、HfO2、Ta2O5和Y2O34种金属氧化物薄膜在中波红外波段内（2.5～5μm）光学常数的色散特性。利用电子束蒸发沉积技术,在超光滑的硅表面制备了4种氧化物薄膜,基于...
关键词：材料 金属氧化物薄膜 水分子 羟基 洛仑兹振子模型 光学常数 
具有亚表面损伤层基底表面的激光减反膜设计
《红外与激光工程》2013年第10期2737-2741,共5页刘华松 刘杰 王利栓 姜玉刚 冷健 季一勤 
国家自然科学基金(61235011);天津市科委项目(10JCYBJC01500,12JCQNIC01200)
光学材料的亚表面损伤层(SSD)是激光光学领域内的研究热点之一。亚表面损伤层的存在将导致其表面薄膜特性发生变化,尤其是在高精度低损耗激光薄膜的设计与制造中亚表面损伤层必须给予考虑。文中研究了亚表面损伤层的物理特性,并借助于...
关键词：激光减反膜 亚表面损伤层 椭偏光谱 折射率梯度 
SiO_2薄膜内部短程有序微结构研究被引量：3
《物理学报》2013年第18期426-431,共6页刘华松 季一勤 姜玉刚 王利栓 冷健 孙鹏 庄克文 
国家自然科学基金重点项目(批准号:61235011);国家重大科学仪器专项子项目(批准号:2012YQ04016405);天津市自然科学基金(批准号:13JCYBJC17300);天津市青年自然科学基金(批准号:12JCQNIC01200)资助的课题~~
SiO2薄膜是重要的低折射率材料之一,针对离子束溅射(IBS)和电子束蒸发(EB)的SiO2薄膜,采用红外光谱反演技术获得在400—1500 cm 1波数内的介电常数,通过对介电能损函数的分析获得了两种薄膜在横向和纵向光学振动模式下的振动频率和Si—O...
关键词：SIO2薄膜 离子束溅射 电子束蒸发 短程有序 
弱吸收单面薄膜光学特性的表征方法被引量：1
《红外与激光工程》2013年第8期2108-2114,共7页刘华松 傅翾 王利栓 姜玉刚 冷健 庄克文 季一勤 
国家自然科学基金(61235011);天津市科委项目(12JCQNIC01200;13JCYBJC17300)
光谱法是测量光学薄膜光学性能的重要方法之一,能够直接表征薄膜-基底系统的光学特性,如:反射率、透过率和吸收率。通过研究薄膜-基底系统的光传输特性,推导出在基底具有弱吸收的一般条件下薄膜-基底系统反射率、透射率和吸收率的表达式...
关键词：光学特性 单面反射率 单面透过率 
离子束溅射参数与Ta_2O_5薄膜特性的关联性被引量：2
《红外与激光工程》2013年第7期1770-1775,共6页刘华松 傅翾 王利栓 姜玉刚 冷健 庄克文 季一勤 
国家自然科学基金(61235011);天津市科委项目(10JCYBJC01500;12JCQNIC01200)
离子束溅射技术是制备Ta2O5薄膜的重要技术之一。采用正交试验设计方法,系统研究了Ta2O5薄膜的折射率、折射率非均匀性、消光系数、沉积速率和应力与工艺参数(基板温度、离子束压、离子束流和氧气流量)之间的关联性。通过使用分光光度...
关键词：离子束溅射 Ta2O5薄膜 正交实验 光学常数 沉积速率 应力 
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