V2O5薄膜

作品数：33被引量：76H指数：5
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无机sol-gel法制备二氧化钒薄膜的研究被引量：4
《电子元件与材料》2008年第11期46-49,共4页葛振华 赵昆渝 李智东 吴东 邹平 
采用无机sol-gel法,以分析纯V2O5为原料,在Si衬底、玻璃衬底上空气中加热制备了V2O5薄膜,在不同温度下真空退火,得到了具有择优取向的VO2薄膜。研究了其制备工艺和显微结构。结果表明:在玻璃衬底和硅衬底上薄膜的最佳真空退火工艺均为48...
关键词：无机非金属材料 VO2薄膜 V2O5薄膜 无机sol-gel法 
衬底对V2O5薄膜微观结构的影响被引量：1
《电子元件与材料》2008年第5期9-11,共3页刘亚强 刘雪芹 
国家自然科学基金资助项目(No.50272027)
在常温下，用sol—gel法在普通玻璃和单晶Si衬底上制备了V2O5薄膜，并将样品在空气中于500℃进行热处理。通过XRD和SEM对比分析了不同衬底上样品的微观结构，用分光光度计测试了玻璃衬底上样品在350～850nm的光学特性。结果表明：在玻璃...
关键词：无机非金属材料 V2O5薄膜 sol—gel 微结构 衬底 
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