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YBA2: 作品数：7被引量：1H指数：0; 导出分析报告; 相关领域：一般工业技术电气工程理学更多>>; 相关作者：江绍钏赵宇高文刊陈茹茹钱仲杰更多>>; 相关机构：郑州大学温州师范学院周口师范学院东北大学更多>>; 相关期刊：《传感技术学报》《国外稀有金属》《Journal of Physical Science and Application》《材料科学与工艺》更多>>; 相关基金：国家自然科学基金更多>>

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前驱体温度对激光化学气相沉积YBa2 Cu3 O7δ超导薄膜结构及性能的影响: 《材料科学与工艺》2020年第2期9-17,共9页张琼赵培吴慰戴武斌 GOTO Takashi 徐源来; 国家自然科学基金(51972241).; 采用激光化学气相沉积法在Al2O3基底上以49μm·h-1的沉积速率高速制备了c-轴取向的YBa2Cu3O 7-δ薄膜,其中,激光功率为133 W,沉积温度1103 K,腔体压强800 Pa。研究了前驱体蒸发温度及薄膜退火温度对薄膜电学性能的影响。研究表明,Ba、C...; 关键词：激光化学气相沉积 YBA2 Cu3 O7-δ薄膜高速沉积

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