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ZNO:GA: 作品数：21被引量：121H指数：6; 导出分析报告; 相关领域：电子电信理学更多>>; 相关作者：余旭浒马洪磊马瑾王玉恒计峰更多>>; 相关机构：南京航空航天大学山东大学浙江大学上海大学更多>>; 相关期刊：《功能材料》《无机材料学报》《半导体技术》《超硬材料工程》更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金教育部科学技术研究重点项目浙江省自然科学基金更多>>

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氧分压对直流磁控溅射制备ZnO：Ga透明导电薄膜特性的影响被引量：23: 《无机材料学报》2007年第6期1113-1116,共4页马全宝叶志镇何海平朱丽萍张银珠赵炳辉; 国家科技部973项目(2006CB604906);国家自然科学基金重点项目(60276044;60340460439);浙江省自然科学基金(Y405126); 通过直流反应磁控溅射法在玻璃衬底上制备了掺镓ZnO(znO:Ga)透明导电薄膜,研究了氧分压对ZnO:Ga透明导电薄膜结构和电光学性能的影响.X射线衍射结果表明所制备的薄膜具有c轴择优取向的六角多晶结构.ZnO:Ca透明导电薄膜的晶粒尺寸强烈依...; 关键词：ZNO:GA 透明导电氧化物薄膜磁控溅射氧分压光电特性