ZNO纳米结构

作品数:64被引量:109H指数:5
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Sn掺杂ZnO纳米结构湿度传感器的制备与特性被引量:2
《微纳电子技术》2019年第2期111-118,共8页匡旭良 叶子 孙宁 宋小军 刘伟景 
国家自然科学基金资助项目(11404207,61604002,11647023);上海自然科学基金资助项目(17ZR1411500)
首先采用水热法制备了四种不同Sn掺杂量的一维Zn1-xSnxO纳米结构材料,然后通过介电泳纳米操控技术将制备的四种纳米结构排布到预先设计的Ti/Au电极之间,进而构建四种湿度传感器,并进行传感特性测试。通过对四种传感结构的测试结果分析发...
关键词:湿度传感器 ZNO纳米结构 水热法 载流子浓度 传感特性 
Co掺杂ZnO纳米结构的合成及其气敏特性被引量:4
《微纳电子技术》2016年第3期188-194,共7页王文达 高翻琴 刘建霞 
山西省自然科学基金资助项目(2013011019-5;2012021030-1);微细加工光学技术国家重点实验室基金资助项目(KFS4);山西省科技重大专项资助项目(20121101004);山西省高等学校特色重点学科建设项目(晋教财[2012]45号)
采用水热法合成了不同质量分数Co掺杂ZnO纳米结构,利用扫描电子显微镜(SEM)、能谱仪(EDS)和X射线衍射仪(XRD)对其表面形貌、元素种类和物相结构进行了分析和表征。制备出了基于不同量Co掺杂的ZnO气体传感器,并研究了Co掺杂ZnO气体传感...
关键词:水热法 Co掺杂ZnO 甲烷气体 传感器 气敏特性 灵敏度 
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