ZNO压电薄膜

作品数：20被引量：43H指数：4
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相关领域：电子电信更多>>
相关作者：乔东海郝震宏汪承灏汤亮崔岩更多>>
相关机构：中国科学院电子科技大学北京航空航天大学四川压电与声光技术研究所更多>>
相关期刊：《传感技术学报》《光学精密工程》《中国机械工程》《应用声学》更多>>
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微型硅基弯曲板波器件
《传感技术学报》2012年第4期453-456,共4页李新 刘梦伟 薛明鑫 
国家自然科学基金项目(10804119);辽宁省自然基金项目(20102162)
介绍了基于ZnO压电薄膜的微型弯曲板波(FPW)器件的设计与制作。为减小薄膜的应力,器件采用LTO/ZnO/LTO/Si3N4多层复合板结构,并采用直流磁控溅射工艺制备ZnO压电薄膜,在压电复合板结构上沉积两对叉指电极,分别用于Lamb波的激发和接收。...
关键词：弯曲板波 ZNO压电薄膜 多层复合板 叉指电极 
硅微压电超声换能器的设计与制作被引量：2
《传感技术学报》2006年第05B期2272-2275,共4页郝震宏 汤亮 乔东海 汪承灏 
国家自然科学基金资助(10474114)
介绍了一种用ZnO薄膜作为压电层的硅微压电式超声换能器(PMUT).该硅微压电换能器的振动基膜采用LPCVD制作的氮化硅薄膜和PECVD制作的二氧化硅形成的复合振动膜结构.文中运用有限元方法对该硅微压电换能器的结构进行了模拟和计算,并进行...
关键词：声成像 硅微压电超声换能器 ZNO压电薄膜 复合振动膜 预应力分析 
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