ZNO压电薄膜

作品数：20被引量：43H指数：4
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相关机构：中国科学院电子科技大学北京航空航天大学四川压电与声光技术研究所更多>>
相关期刊：《传感技术学报》《光学精密工程》《中国机械工程》《应用声学》更多>>
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基于ZnO多层结构的声表面波高频器件分析设计
《电视技术》2021年第5期120-124,共5页郭欣榕 谭秋林 李博 
通过有限元仿真,分析基于ZnO/Diamond不同复合结构的声表面波传播特性,包括机电耦合系数、声表面波波速以及温度敏感系数等,同时分析电极厚度对机电耦合系数的影响机理,为适用于不同场合的高频器件的优化设计提供思路,对基于ZnO/Diamon...
关键词：声表面波 有限元仿真 ZNO压电薄膜 金刚石 
基于ZnO压电薄膜的柔性声表面波器件被引量：16
《光学精密工程》2014年第2期346-350,共5页周剑 何兴理 金浩 王德苗 骆季奎 
浙江省教育厅资助项目(No.Y200805433)
提出并制备了基于聚酰亚胺柔性衬底的声表面波(SAW)器件。在柔性聚酰亚胺衬底上低温反应磁控溅射沉积了ZnO压电薄膜;采用X射线衍射仪,扫描电子显微镜,原子力显微镜等设备对ZnO薄膜进行了检测,结果表明:ZnO薄膜晶粒呈柱状生长并且(002)...
关键词：柔性衬底 ZNO薄膜 压电薄膜 声表面波器件 
微型硅基弯曲板波器件
《传感技术学报》2012年第4期453-456,共4页李新 刘梦伟 薛明鑫 
国家自然科学基金项目(10804119);辽宁省自然基金项目(20102162)
介绍了基于ZnO压电薄膜的微型弯曲板波(FPW)器件的设计与制作。为减小薄膜的应力,器件采用LTO/ZnO/LTO/Si3N4多层复合板结构,并采用直流磁控溅射工艺制备ZnO压电薄膜,在压电复合板结构上沉积两对叉指电极,分别用于Lamb波的激发和接收。...
关键词：弯曲板波 ZNO压电薄膜 多层复合板 叉指电极 
分子束外延生长的ZnO压电薄膜及其声表面波器件特性被引量：5
《发光学报》2012年第3期328-333,共6页刘凤娟 胡佐富 李振军 张希清 
国家自然科学基金(50972007);国家重点基础研究发展计划(973计划)(2011CB932703);北京市自然科学基金(4092035);北京交通大学优秀博士研究生创新研究基金(2011YJS284)资助项目
用RF-MBE在蓝宝石(0001)衬底上引入MgO和低温ZnO双缓冲层生长了ZnO薄膜,并制备了声表面波器件。在ZnO薄膜中,仅观测到(0002)面的XRD,且衍射峰增强,半高宽减小,表明ZnO薄膜c轴取向性更好,晶体结构更优。室温下自由激子吸收峰更尖锐和吸...
关键词：ZNO MgO缓冲层 声表面波 
采用ZnO压电薄膜的声光偏转器研制被引量：2
《压电与声光》2012年第1期21-22,26,共3页刘彪 张晓容 易平 朱吉 
研究了基于ZnO压电薄膜结构的1GHz声光偏转器。通过采用半导体工艺流程制备器件,并利用射频网络分析仪对实验器件进行了测试,得到器件达到的性能指标:中心频率1.05GHz、带宽500MHz、衍射效率1%、渡越时间1.5μs。
关键词：声光偏转器 ZNO压电薄膜 带宽 
ZnO压电薄膜双面共溅生长技术被引量：2
《压电与声光》2010年第4期629-630,633,共3页郑泽渔 汤劲松 朱昌安 周勇 王宗富 
在只有一个靶源的情况下,利用改良的夹具,在钇铝石榴石(YAG)晶体的两端用反应磁控溅射法同时溅射生长ZnO压电薄膜。对ZnO压电薄膜做了X-射线衍射(XRD)分析,测试了用双面方法制作的声体波薄膜换能器的回波损耗。结果表明,采用双面共溅工...
关键词：氧化锌 压电薄膜 溅射 声体波 
基于ZnO压电薄膜的弯曲振动硅微压电超声换能器的研究被引量：3
《声学学报》2010年第1期1-8,共8页郝震宏 汪承灏 乔东海 
对所研制的硅微压电超声换能器(PMUT)的振动特性进行了研究分析。对硅微压电超声换能的振动膜薄板的厚度相对于薄板的尺度(边长)而言较薄的情况,理论分析与实验结果均表明残余应力对换能器的谐振频率影响较大:不考虑残余应力的理论分析...
关键词：压电超声换能器 ZNO压电薄膜 弯曲振动 谐振频率 接收灵敏度 硅 实验测量 残余应力 
ZnO压电薄膜及其SAW滤波器的制备及性能研究被引量：3
《装备制造技术》2009年第8期41-43,共3页黄卫华 
采用磁控溅射方法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了晶化良好的(002)取向的ZnO薄膜,用XRD、SEM表征薄膜的取向和显微结构。在ZnO薄膜上利用剥离技术制备了波长40μm的Al叉指电极,电极厚度约为200nm,并利用矢量网络分析仪测量了ZnO薄膜声表面...
关键词：ZNO薄膜 剥离 声表面波 叉指电极 
ZnO压电薄膜的制备与性能表征被引量：5
《人工晶体学报》2009年第4期880-883,共4页许恒星 王金良 唐宁 彭洪勇 范超 
国家自然科学基金(No.10432050No.50772006)
采用射频磁控溅射法在硅(100)衬底上制备高质量的ZnO压电薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、压电响应力显微镜(PFM)等仪器研究了薄膜成分,表面形貌和压电性质。结果表明:实验制备的ZnO薄膜具有很好的压电性质,c轴取向和...
关键词：ZNO薄膜 射频磁控溅射 压电性质 表面粗糙度 
ZnO压电薄膜的生长与应用被引量：1
《功能材料与器件学报》2008年第1期258-262,共5页孙宏明 郭航 
厦门大学引进人才科研启动基金资助
本文实验研究了ZnO压电薄膜的生长与表征,运用XRD和SEM测试了磁控溅射生长的ZnO压电薄膜的C轴择优取向生长情况和晶粒质量,比较了Si、覆盖在Si基底上的Al薄膜和SixNy薄膜三种材料衬底以及退火处理对ZnO薄膜的结晶质量的影响。还开发了...
关键词：ZNO薄膜 磁控溅射 退火 XRD MEMS器件 
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