AFM阳极氧化

作品数：9被引量：3H指数：1
导出分析报告
相关领域：电子电信更多>>
相关作者：刘庆纲匡登峰胡小唐张世林李敏更多>>
相关机构：天津大学南开大学浙江师范大学深圳市科发实业有限公司更多>>
相关期刊：《传感技术学报》《哈尔滨工业大学学报》《压电与声光》《微纳电子技术》更多>>
相关基金：天津市自然科学基金教育部南开大学、天津大学科技合作基金浙江省教育厅科研计划国家自然科学基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
选择条件：
  • 期刊=压电与声光x
共 条 记 录，以下是1-1
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
大气状态下AFM阳极氧化加工Si的研究被引量：1
《压电与声光》2006年第2期209-211,共3页宋晓辉 李艳宁 匡登峰 刘庆纲 胡小唐 
教育部天津大学南开大学科技合作基金资助项目
Si纳米氧化线是构筑基于Si的纳米器件的基础。通过AFM针尖诱导阳极氧化加工的n型Si(100)的实验得到凸出的n型Si(100)氧化物高度和偏置电压成线性关系,与针尖扫描速度成负对数关系,并在前人的基础上深化了AFM针尖诱导氧化加工的机理和理...
关键词：AFM阳极氧化 Si氧化线 偏置电压 扫描速度 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部