ALND

作品数：30被引量：81H指数：5
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蚀刻液组成对薄膜晶体管线路蚀刻性能的影响被引量：1
《云南化工》2022年第12期24-26,31,共4页林钢 陈远明 张汉焱 谢泽雄 
为了提高MoNb、AlNd金属薄膜的蚀刻速率,且使二者的蚀刻速率基本相同,采用改变蚀刻液各组分质量分数的方法进行了研究。结果表明,在蚀刻温度为45℃,磷酸质量分数为66.74%,硝酸质量分数为1.93%,醋酸质量分数为10.3%,水质量分数为8.3%时,A...
关键词：蚀刻速率 MoNb薄膜 AlNd薄膜 金属蚀刻液 晶体管线路 
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