COSI2

作品数：14被引量：4H指数：1
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CoSi2薄膜与Si(001)界面的高分辨电子显微镜观察
《电子显微学报》2008年第1期21-25,共5页邢辉 周鸥 孙坚 黄红伟 
利用高分辨透射电镜研究了经过550℃退火处理的共溅射CoSi2非晶结构薄膜与Si基体的界面。结果表明,550℃退火后薄膜已经发生晶化转变;同时CoSi2薄膜与Si基体发生反应扩散,在界面上生成了形状规则的CoSi2化合物,并与Si基体保持着相同的...
关键词：界面 COSI2 高分辨电子显微术 
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