CVD设备

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工模具PCVD表面陶瓷化成套工业技术
《中国科技成果》2005年第9期60-60,共1页
脉冲直流PCVD工模具表面强化的技术原理是：在专用的PCVD设备中，在一定的温度、气压条件下通入一定比例的工作气体，利用等离子场的能量，促成化学反应，在工模具表面形成耐热、超硬强化层。研制出的专用PCVD设备采用独特设计的内热式...
关键词：PCVD 工模具 表面陶瓷化 工业技术 CVD设备 技术原理 表面强化 脉冲直流 工作气体 等离子场 化学反应 加热系统 加热速率 频率范围 直流电源 强化层 内热式 热效率 外热式 逆变式 专用 超硬 
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