CZSI

作品数：22被引量：12H指数：2
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Φ200mm CZSi复合式热场的数值模拟研究被引量：2
《稀有金属》2008年第2期161-164,共4页任丙彦 李洪源 张燕 张兵 郭贝 
国家自然科学基金(60576002)资助项目
对国产TDR-80型单晶炉的复合式热场系统进行了优化设计,建立了不同条件下的理论模型,采用有限元数值模拟的方法分析了主加热器的延伸率、埚径比和熔体高度变化对直拉硅单晶生长中的温度梯度和热流密度分布的影响,为提高晶体生长速率和...
关键词：CZSI 热场 有限元 双加热器 热对流 
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