FE-MN-SI

作品数：53被引量：74H指数：5
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相关领域：金属学及工艺一般工业技术更多>>
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热处理工艺对磁控共溅射制备Fe-Mn-Si薄膜组织形貌的影响
《热加工工艺》2008年第20期66-68,共3页何亮 钱士强 李伟 
上海市教委培养选拔优秀青年教师科研专项基金资助项目(06XPYQ18)
采用磁控共溅法制备Fe-Mn-Si磁性形状记忆合金薄膜,并将制备薄膜在不同的温度下进行真空热处理,比较了不同热处理温度下薄膜的组织形貌。结果表明,制备薄膜组织成分均匀,热处理前主要为γ(fcc)相,经400℃真空热处理2h后,薄膜含有γ(fcc...
关键词：Fe-Mn-Si合金薄膜 薄膜磁控共溅 真空热处理 
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