氧化物功能薄膜

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氧化物功能薄膜材料在柔性传感器件中的应用
《中国科学：信息科学》2018年第6期635-649,共15页潘泰松 廖非易 姚光 王宇轩 高敏 林媛 
国家重点基础研究发展计划(批准号:2015CB351905);四川省青年科技创新研究团队计划(批准号:2015TD0005)资助项目
柔性传感器件因其在医疗健康、人机交互等应用中的巨大前景,受到了广泛关注,也是近年来的研究热点.作为无机功能材料中的一类重要材料,氧化物功能薄膜因其具有丰富的电子学、光学、热学、力学、磁学等方面性质已经在各种电子和光电子器...
关键词：无机功能材料 氧化物功能薄膜 柔性器件 传感器件 
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