HGCDTE光伏探测器

作品数：14被引量：25H指数：3
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相关机构：中国科学院昆明物理研究所云南大学哈尔滨工业大学更多>>
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HgCdTe光伏器件多层钝化膜等离子体处理的研究被引量：1
《光学仪器》2006年第4期56-59,共4页储开慧 乔辉 汤英文 陈江峰 胡亚春 贾嘉 李向阳 龚海梅 
在HgCdT e光伏探测器件S iO2+ZnS复合介质膜钝化中,引入O+2清洗和A+r刻蚀两种等离子体处理工艺,大大提高薄膜附着力,成功制备出优良的光伏器件。对处理前后的样品进行场发射扫描电子显微镜扫描、原子力显微镜扫描和二次离子质谱测试后发...
关键词：O2^+清洗 Ar^+刻蚀 钝化 HGCDTE光伏探测器 
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