KRF准分子激光

作品数：38被引量：50H指数：4
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KrF准分子激光精密加工K9光学玻璃的实验研究被引量：9
《电加工与模具》2003年第2期33-35,共3页江超 王又青 
采用波长 2 4 8nm的KrF准分子激光器对K9光学玻璃的精密微细加工进行了研究 ,探讨了准分子激光与玻璃的相互作用机理。进行了表面切割和打孔实验 ,研究了激光加工的工艺参数及加工质量的变化规律 ,对加工后的工件表面形貌进行了分析。
关键词：准分子激光器 激光烧蚀 激光精密加工 激光切割 激光打孔 光学玻璃 
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