LPE

作品数：102被引量：129H指数：6
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液相外延碲镉汞材料组分均匀性改善被引量：7
《红外技术》2014年第12期973-975,共3页吴军 毛旭峰 万志远 李沛 韩福忠 
国防基础科研项目
由碲镉汞薄膜材料的厚度不均匀性入手,改进水平滑舟液相外延工艺,从而改善了碲镉汞薄膜材料组分均匀性,使距薄膜边缘1.5 mm(衬底边缘2.5 mm)以内的薄膜材料组分均匀性得到了长足的提高,增大了薄膜材料用于制备焦平面器件的利用率。中波...
关键词：石墨舟 碲镉汞 组分均匀性 LPE 
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