MCVD

作品数：53被引量：54H指数：4
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提高MCVD金刚石薄膜成核密度的有效方法被引量：1
《郑州大学学报（自然科学版）》1995年第4期45-47,共3页刘大军 何金田 王小平 张兵临 王建恩 沈书泊 
国家自然科学基金资助项目
本文比较先在硅衬底上沉积无定形金刚石膜，然后再沉积金刚石膜，和直接在硅衬底上沉积金刚石膜的结果，前者成核密度大大提高，最后分析了提高成核密度的原因。
关键词：无定形金刚石膜 成核密度 金刚石薄膜 MCVD 
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