表面变性

作品数：16被引量：46H指数：4
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冷等离子体表面改性设备的研制被引量：9
《物理》1992年第10期614-618,共5页胡建芳 郭淑静 李和利 马岩 钱露茜 
国家自然科学基金资助项目.
本文介绍了一个新的冷等离子体表面改性设备，它集辉光放电和电晕放电于一体，可根据研究工作需要，采用不同的放电形式和工作气体，可满足材料表面改性的机理性研究和小批量产品开发的需要，实验结果表明，该设备结构合理，性能可靠．
关键词：冷等离子体 表面变性 设备 
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