波导开关

作品数：62被引量：73H指数：5
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全硅光波导开关中的热光效应光交换被引量：1
《科学通报》1996年第6期575-576,共2页刘育梁 刘恩科 罗晋生 
硅材料在微电子学领域获得了巨大的成功。近年来,将这种成功拓展到光电子学领域已成为众多研究人员追求的目标。基于硅材料及其工艺技术的光电子器件的研究日益增多。在硅光波导开关及其阵列方面,已报道了许多利用自由载流子等离子体色...
关键词：硅光波导开关 热光效应 光路交换 光电子器件 
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