波导特性

作品数：32被引量：49H指数：3
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溶胶-凝胶法制备PZT薄膜的结构和波导特性
《半导体光电》1998年第5期343-346,共4页翟继卫 杨涛 杨合情 吴小清 张良莹 姚熹 
采用溶胶－凝胶方法制备了ＰＺＴ（５０／５０）薄膜。用椭偏仪和透射光谱分别测量并计算了制备在Ｓｉ（１１１）、石英玻璃基片上薄膜的折射率。研究了薄膜的相结构与折射率之间的关系以及折射率和消光系数的色散关系。用棱镜耦合的方...
关键词：铁电薄膜 溶胶-凝胶 结构 折射率 波导 损耗 
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