缠绕式

作品数:402被引量:565H指数:9
导出分析报告
相关领域:矿业工程更多>>
相关作者:赵亮王飞朱真才石胜君白相林更多>>
相关机构:中国矿业大学哈尔滨工业大学重庆大学河南科技大学更多>>
相关期刊:更多>>
相关基金:国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金国家科技重大专项河南省高校科技创新团队支持计划更多>>
-

检索结果分析

结果分析中...
选择条件:
  • 基金=国家科技支撑计划x
条 记 录,以下是1-1
视图:
排序:
缠绕式射频磁控溅射聚酯(PET)表面沉积氧化硅(SiO_x)薄膜的研究被引量:5
《真空科学与技术学报》2009年第S1期94-97,共4页刘壮 林晶 孙智慧 高德 
"十一五"国家科技支撑重大项目"食品新材料的研究与开发"课题(No.2006BAD05A05);印刷包装材料与技术北京市重点实验室开放课题(KF200705)
采用缠绕式射频磁控溅射方法在PET表面沉积SiO_x薄膜。研究了制备工艺对薄膜组成、表面形貌、阻隔性能的影响。通过红外光谱(FTIR)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)观察分析了射频功率、工作压强等参数对SiO_x薄膜性能的影响,...
关键词:射频磁控溅射 SiO_x薄膜 表面形貌 阻隔性 红外吸收光谱 
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部