超大规模集成电路芯片

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超大规模集成电路芯片的激光缺陷检测技术研究
《中文科技期刊数据库（全文版）工程技术》2023年第9期44-46,共3页沈智慧 
超大规模集成电路芯片的激光缺陷检测技术是一种通过使用激光来检测集成电路芯片上的缺陷和欠缺的技术。这项技术可以帮助生产商在生产过程中及时发现并修复芯片上的缺陷,提高芯片的质量和性能。激光缺陷检测技术使用激光器对集成电路...
关键词：超大规模 集成电路芯片 激光缺陷检测技术 
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