云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 超晶格薄膜

超晶格薄膜: 作品数：41被引量：57H指数：4; 导出分析报告; 相关领域：理学一般工业技术更多>>; 相关作者：谈国强任慧君夏傲缪向水冯金龙更多>>; 相关机构：陕西科技大学华中科技大学清华大学东南大学更多>>; 相关期刊：《表面技术》《光谱学与光谱分析》《发光学报》《物理学报》更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划福建省自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>

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深振荡磁控溅射复合沉积CrN/TiN超晶格薄膜的结构和性能被引量：3: 《稀有金属材料与工程》2018年第S1期330-334,共5页欧伊翔潘伟雷明凯; 中国博士后基金面上资助项目(2016M600085); 分别采用深振荡磁控溅射(deep oscillation magnetron sputtering,DOMS)复合脉冲直流磁控溅射(pulsed dc magnetron sputtering,PDCMS)技术和单一的PDCMS技术,沉积厚度为2μm、调制周期为6.3 nm的Cr N/Ti N超晶格薄膜。利用XRD、SEM和TE...; 关键词：CrN/TiN超晶格薄膜深振荡磁控溅射脉冲直流磁控溅射摩擦磨损腐蚀