超晶格薄膜

作品数：41被引量：57H指数：4
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W/Mo超晶格薄膜的微结构研究被引量：4
《材料工程》1999年第3期24-27,共4页李戈扬 张流强 许俊华 吴亮 李鹏兴 顾明元 
纳米多层膜因常出现物理或力学性能的异常而成为薄膜研究的热点之一。采用ＸＲＤ和ＴＥＭ技术研究了Ｗ／Ｍｏ纳米多层膜微结构。结果表明，Ｗ和Ｍｏ由于同为体心立方结构，且晶格常数相近，由它们交互重叠形成的纳米多层膜具有柱状晶穿...
关键词：纳米 多层膜 超晶格 磁控溅射 钨钼 XRD 
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