超精密车床

作品数：59被引量：100H指数：6
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相关领域：金属学及工艺机械工程更多>>
相关作者：董申李圣怡汪建新黄长征王清明更多>>
相关机构：哈尔滨工业大学国防科学技术大学中国工程物理研究院天津大学更多>>
相关期刊：《现代制造》《仪器仪表学报》《机床与液压》《机械设计与制造》更多>>
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微结构阵列超精密车床快刀伺服装置及试验研究被引量：1
《国防科技大学学报》2021年第2期109-116,共8页关朝亮 刘俊峰 李飞 王贵林 
国防基础科研科学挑战专题资助项目(2018006-0202-03/-0102-04)。
各种微结构阵列在LED照明、液晶显示、光学仪器等领域得到了广泛的应用,但其结构细微复杂且形状表面质量要求高,其加工工艺技术研究引起了广泛的关注。本文提出压电陶瓷驱动结合柔性铰链作为刀架的快刀伺服装置,建立快刀伺服系统的机电...
关键词：快刀伺服装置 微结构阵列 柔性铰链 
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