超精密定位

作品数：37被引量：184H指数：9
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基于音圈电机驱动的纳米级空气静压工作台设计被引量：1
《微特电机》2021年第1期29-31,44,共4页赵鹏飞 钱程 钱翰琪 
针对超精密金属切削加工开发了一款基于音圈电机驱动的纳米级空气静压工作台,阐述了它的工作原理、结构配置以及驱动与控制系统设计方法,并对它在空载条件下的定位性能和实际金属切削性能进行了测试与评价。实验结果表明,该工作台可实现...
关键词：空气静压工作台 超精密定位 纳米加工 
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