超精密定位

作品数：37被引量：184H指数：9
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超精密定位系统音圈电机驱动器设计
《电力电子技术》2025年第1期17-20,共4页李荣 舒鑫东 黄晓路 张驰 
中国科学院国际合作局重点项目(174433KYSB-20210060);宁波市自然科学基金(2022J315)。
基于柔顺并联机构的音圈电机驱动装置是超精密定位系统实现大行程、高动态、超精密定位的核心部件,要求电机电流驱动器可实现跨尺度电流输出能力,即微安级到安培级。本文针对以上要求,设计了一种具有高电流环带宽、高电流分辨力的驱动...
关键词：音圈电机 电流驱动器 电流环 超精密定位 
柔性定位平台屈曲分析及优化设计
《机床与液压》2024年第20期162-167,共6页张璐凡 孙贺贺 闫恒 张鹏启 姜薄士 
国家自然科学基金青年科学基金项目(51705132);河南省科技厅自然科学项目(222102220088);河南省教育厅自然科学项目(21A460006)。
超高加速度宏微运动平台是一种超精密定位设备,柔性定位平台对宏微运动平台的稳定性起到至关重要的作用。为增加它的稳定性和安全性,采用有限元方法,通过静力分析、屈曲分析和响应面优化设计,来提高柔性定位平台综合性能。建立柔性定位...
关键词：柔性定位平台 屈曲分析 超精密定位 优化设计 
超精密位移台计量特性的差动式平面镜干涉溯源分析被引量：1
《红外与激光工程》2021年第11期293-300,共8页闫勇刚 吴正兴 李直 汤宇祺 
国家自然科学基金面上项目(51775174);河南省重点科技攻关计划项目(212102210323);河南省高校基本科研业务费专项资金(NSFRF180332)。
超精密纳米位移台常用于扫描探针显微镜、光学显微镜等高精度分析仪器中,其纳米机械性能的精密计量和校准对显微测量系统的性能起着关键作用。基于一种双通道结构差动式平面镜干涉测量与校准方法(英国国家物理实验室),文中对一种超精密...
关键词：纳米计量 激光干涉 超精密定位台 溯源 
超精密大行程滚珠丝杠进给系统设计与实验研究被引量：2
《机床与液压》2021年第20期23-27,共5页薛宝珠 李梦阳 郭英杰 
中国工程物理研究院创新发展基金资助项目(K1249-2020-TCF);四川省科技成果转移转化示范项目(20ZHSF0138)。
针对单级驱动系统难以同时实现大行程与超精密定位的问题,设计一种基于滚珠丝杠与液体静压导轨的超精密大行程进给系统实验台。无框式直驱电机通过胀紧套直接与滚珠丝杠联接,实现类似于直线电机的“零传动”,采用纳米级分辨率光栅尺实...
关键词：超精密定位 大行程 滚珠丝杠进给系统 定位精度 分辨率 
基于音圈电机驱动的纳米级空气静压工作台设计被引量：1
《微特电机》2021年第1期29-31,44,共4页赵鹏飞 钱程 钱翰琪 
针对超精密金属切削加工开发了一款基于音圈电机驱动的纳米级空气静压工作台,阐述了它的工作原理、结构配置以及驱动与控制系统设计方法,并对它在空载条件下的定位性能和实际金属切削性能进行了测试与评价。实验结果表明,该工作台可实现...
关键词：空气静压工作台 超精密定位 纳米加工 
超高加速宏微运动平台研发设计动态被引量：1
《机械设计》2020年第S01期19-23,共5页马兵 张璐凡 吕彭民 聂福全 周强 刘永刚 
国家青年科学基金项目(51705132);河南省科技厅自然科学项目(172102210215);河南省博士后基金和河南省教育厅自然科学项目(17A460008);河南工业大学青年骨干教师培育计划项目
随着微电子制造业装备对加速度和精度的要求的不断提高,宏微运动平台作为微电子制造业的关键设备,突破加速度和提高重复定位精度是宏微运动平台热点研究的核心问题。因此,面向超高加速超精密定位宏微运动平台的研发凸显的尤为重要。文...
关键词：微电子制造业 宏微运动平台 超高加速超精密定位 关键技术与发展方向 
压电超精密定位台的动态迟滞建模研究被引量：10
《仪器仪表学报》2017年第10期2492-2499,共8页杨晓京 李庭树 刘浩 
国家自然科学基金(51365021)项目资助
为了提高压电超精密定位台的建模精度,采用Backlash-Like迟滞非线性模型来描述压电超精密定位台的迟滞特性,采用基于遗传因子的递推最小二乘法来辨识Backlash-Like模型的参数,并结合压电超精密定位台的动态特性,建立了压电超精密定位台...
关键词：压电超精密定位台 Backlash-Like迟滞模型 遗传因子的递推最小二乘法 动态模型 
超精密摩擦传动机构
《机械设计与研究》2016年第4期64-67,共4页刘斌 陈琦 蔡黎明 杨洪波 于涌 
针对超精密传动机构定位精度高、行程大、运行平稳、激励振动小、系统可靠性高的要求,设计了一种双圆弧型驱动轮摩擦副的超精密摩擦传动机构,与圆柱型驱动轮摩擦副、双V型驱动轮摩擦副的结构相比,减小了接触应力,提高了接触刚度。应用...
关键词：摩擦传动 超精密定位 定位精度 赫兹接触 
基于叠栅信号的超精密定位特性研究
《南京师范大学学报（工程技术版）》2015年第4期9-13,共5页范育奇 顾智华 张金龙 刘京南 内田敬久 
国家"863"计划(2005AA303610);江苏省自然科学基金(BK2009406)
介绍了一种采用叠栅信号实现超精密定位的定位方法,首先建立了衍射叠栅信号和相对位移关系的数学模型,并在MATLAB仿真软件的辅助下完成了对其定位特性的研究.探讨了光栅倾斜对定位精度的影响,倾斜角越大,定位点的偏移越大,为确保高的定...
关键词：叠栅信号 超精密定位 光栅倾斜 光栅常数 定位精度 
采用反射叠栅信号的超精密定位技术研究被引量：1
《光学学报》2015年第12期110-117,共8页范育奇 周晨 张金龙 刘京南 内田敬久 
国家863计划(2005AA303610);江苏省自然科学基金(BK200406)
在光学理论基础上,对反射型双光栅检测系统进行了研究。建立了以反射叠栅信号及其相应位移为对象的数学模型,并利用Matlab软件对反射叠栅信号其位移特性进行数值计算及分析仿真,经仿真研究发现,反射0次叠栅信号输出光波强度最强、呈现...
关键词：几何光学 超精密定位 反射叠栅信号 模糊径向基函数神经网络 比例积分微分控制 
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