超精密定位

作品数：37被引量：184H指数：9
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超精密定位技术的现状及展望被引量：1
《光机电信息》1996年第10期15-18,共4页杨妹清 
几年前,将质量100kg以下的物体移动1m的距离,就可容易地以几nm的精度对目标进行定位,这样的超精密定位技术实际上已应用于制造半导体的器件和非球面透镜的超精加工工作仪器等.而且,据目前有些研究报告公布,能以0.1nm的分辨率实施定位.据...
关键词：物体移动 超精密定位 精度 
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