超浅结

作品数:24被引量:13H指数:2
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团簇离子束纳米加工技术研究进展
《中国表面工程》2014年第6期28-43,共16页张早娣 李慧 王泽松 付德君 
国家自然科学基金(11205116;11375133;11375135)
团簇离子束是带电的团簇,可以在电场、磁场作用下加速、传输或偏转,形成几个eV到几个MeV能量的离子束。文中阐述了团簇离子束的基本概念、产生方法和主要应用。大尺寸气体团簇和硼基团簇必须用高压气体超声绝热膨胀方法产生,然后通过电...
关键词:团簇离子束 离子加工 表面平化 超浅结 石墨烯 
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