超深亚微米器件

作品数：4被引量：11H指数：2
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相关机构：北京大学西安电子科技大学西北核技术研究所中国科学院大学更多>>
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超深亚微米器件总剂量辐射效应三维数值模拟被引量：7
《物理学报》2011年第5期538-544,共7页何宝平 丁李利 姚志斌 肖志刚 黄绍燕 王祖军 
国家重点基础研究发展计划(973)项目(批准号:61354030101)资助的课题~~
本文分析了浅槽隔离(STI)结构辐射诱导电荷的分布情况,给出一种模拟超深亚微米器件总剂量辐射效应的新方法.研究结果表明,如果在栅附近沿着STI侧墙不加辐照缺陷,仿真出的0.18μm超深亚微米晶体管亚阈区I-V特性没有反常的隆起,并且能够...
关键词：总剂量 超陡倒掺杂 Halo掺杂 辐射效应 
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