抽速

作品数:115被引量:160H指数:6
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相关作者:卢耀文武义锋王君蔡国飙王文龙更多>>
相关机构:东北师范大学东北大学合肥工业大学兰州空间技术物理研究所更多>>
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基于虚拟仪器的分子泵抽速自动测试软件设计被引量:6
《真空科学与技术学报》2020年第7期619-624,共6页赵博文 延峰 杨传森 卢耀文 董云宁 邵壮 梁西银 
国家自然科学基金青年项目(No.61804005)。
针对当前分子泵抽速测试装置自动化程度低,压强实验点难以调节等问题,设计出一套分子泵抽速自动测试软件,以LabVIEW为软件开发平台,采用RS485通信实现对真空计、气体质量流量控制计、温度控制仪的数据采集和设备控制;采用PID控制方法调...
关键词:分子泵 抽速测试 LABVIEW PID自整定 
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