传感器测试

作品数：96被引量：209H指数：6
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无线、无源压力传感器测试及标定方法被引量：3
《微纳电子技术》2013年第9期566-569,591,共5页李晨 谭秋林 洪应平 葛冰儿 王伟 熊继军 
国家自然科学基金资助项目(51075375);国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2010CB334703)
针对所制备的微机械无线、无源压力传感器的特点,完成了压力传感器的测试与标定。提出了一种测试与标定方法。以压力控制器输出的压力信号为标准信号源,并利用阻抗分析仪测量传感器谐振频率,克服了传统测试方法复杂、精度低等缺点。通...
关键词：压力传感器 无线 无源 测试平台 线性拟合 压力标定 
传感器测试的标准化
《微纳电子技术》2008年第10期619-619,共1页
关键词：测试要求 标准化 传感器 MEMS 组件设计 程序实现 制造商 压力 
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