传感器测试

作品数：96被引量：209H指数：6
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MEMS压力传感器在义齿力学性能研究中的应用
《传感技术学报》2008年第4期702-704,共3页冯勇建 谢雪望 刘建彰 冯永奇 
给出一种用于义齿压力测量的微型电容式传感器的研制工艺和封装测试。文中根据电容式压力传感器的原理,采用MEMS工艺,研制出微型传感器。在与义齿基托相同材料的作底基的树脂上挖一个边长为2mm平整的方形小坑,将传感器分布式埋植入底基...
关键词：义齿 电容式传感器 MEMS 传感器测试 
微机械电容式加速度传感器测试电路研究被引量：4
《传感技术学报》2006年第6期2421-2424,共4页杨苗苗 陈德勇 王军波 陈健 毋正伟 陈李 
在测量硅微电容式加速度传感器时,由于器件信号的微弱和寄生电容的干扰,提高加速度的稳定性和分辨率非常困难.针对这种情况,作者分析对比开关性和调制解调型两种常见微弱电容检测方法优缺点,并提出了一种微电容检测的改进电路,用此电路...
关键词：硅微加速度传感器 微弱电容检测 差分检测 
半导体氧化物气体传感器测试新原理与方法被引量：31
《传感技术学报》2000年第2期106-110,共5页张正勇 张耀华 焦正 李民强 张蓉 刘锦淮 
国家自然科学基金!69774028
本文基于半导体氧化物的气体敏感机理，提出对其测试的新原理和方法，通过试验发现，这种动态测试方法不仅能提高半导体氧化物的选择性和稳定性，而且能从混合气体中分辨出特定的气体成分，判断出大致的逍度．用这种方法，同一种气体传...
关键词：半导体氧化物 气敏特性 气体传感器 
用电容传感器测试阻尼合金的音频内耗
《传感技术学报》1994年第1期46-49,共4页江月松 
本文介绍用电容传感器测试阻尼合金的音频内耗,设计了相应的机械结构,并对工程研究中的阻尼合金测试了温度谱.结果表明,此方法具有重复性好、灵敏度高、系统误差小和操作方便等优点.
关键词：阻尼合金 音频内耗 电容传感器 
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