粗真空

作品数：12被引量：34H指数：3
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相关领域：一般工业技术金属学及工艺更多>>
相关作者：冼爱平庄艳歆杨杰王永新何盛更多>>
相关机构：普发真空公司中国科学院金属研究所北京卫星环境工程研究所攀钢集团江油长城特殊钢有限公司更多>>
相关期刊：《汽车科技》《化学工程》《仪器仪表学报》《四川真空》更多>>
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MEMS粗真空传感器研制被引量：5
《传感器技术》2005年第1期87-88,共2页李炳乾 
设计了硅基MEMS粗真空传感器及其工艺流程,分析了MEMS粗真空传感器的工作原理和过程,制作了MEMS粗真空传感器,并对其真空敏感特性和温度交叉敏感特性进行了实验研究。研究结果表明:采用恒压源供电时,制作的MEMS真空传感器灵敏度高达0.55...
关键词：微电子机械系统 粗真空 真空传感器 
高度传感器真空系统设计及漏率确定
《汽车科技》1989年第3期6-12,共7页莫信芳 刘行兵 
通常化油器只能提供一种配剂,不可能满足汽车在任意海拔高度上的动力性和经济性要求。国内同行对此作了大量的工作,但未曾取得满意的结果。一九八二年我厂引进了日本日立公司的高原补偿技术,通过在西南、西北地区的道路试验,证明性能良...
关键词：漏率 传感器安装 真空系统 真空室 补偿技术 海拔高度 经济性要求 粗真空 国产化工作 封离 
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