气泡缺陷

作品数:93被引量:225H指数:7
导出分析报告
相关领域:化学工程更多>>
相关作者:张赛韩建军阮健谢俊张清更多>>
相关机构:武汉新芯集成电路制造有限公司中芯国际集成电路制造(上海)有限公司西安交通大学武汉理工大学更多>>
相关期刊:更多>>
相关基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重大科学仪器设备开发专项国家电网公司科技项目更多>>
只显示领域
只显示作品
只显示人物
只显示机构
只显示资助
只显示期刊
只显示主题