纳米机电系统

作品数:28被引量:32H指数:3
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相关领域:一般工业技术理学更多>>
相关作者:金云霞郝健类伟巍梁罡徐伟更多>>
相关机构:电子科技大学复旦大学吉林大学西北工业大学更多>>
相关期刊:《合成润滑材料》《中国集成电路》《前沿科学》《光学精密机械》更多>>
相关基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家教育部博士点基金工业装备结构分析国家重点实验室开放基金更多>>
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