机械抛光

作品数：1243被引量：2239H指数：20
导出分析报告
相关领域：电子电信金属学及工艺更多>>
相关作者：刘玉岭路新春宋志棠雒建斌康仁科更多>>
相关机构：河北工业大学清华大学罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司中芯国际集成电路制造(上海)有限公司更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家科技重大专项河北省自然科学基金国家中长期科技发展规划重大专项更多>>
只显示领域
只显示作品
只显示人物
只显示机构
只显示资助
只显示期刊
只显示主题
相关作者更多
刘玉岭
河北工业大学电子信...
路新春
清华大学机械工程学...
宋志棠
中国科学院上海微系...
雒建斌
清华大学机械工程学...
康仁科
大连理工大学机械工...
苏建修
河南科技学院机电学...
相关机构更多
相关主题更多