氮化钛

作品数:1134被引量:3086H指数:22
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相关领域:金属学及工艺一般工业技术更多>>
相关作者:高原谢一兵高濂李亚伟何家文更多>>
相关机构:中国科学院北京科技大学中芯国际集成电路制造(上海)有限公司清华大学更多>>
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相关基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点实验室开放基金河北省自然科学基金更多>>
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