ROLL-TO-ROLL

作品数:26被引量:43H指数:4
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苏建修
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作品数:90被引量:404H指数:11
发文主题:化学机械抛光 材料去除率 抛光辊 捕集装置 滚切
发文领域:金属学及工艺 电子电信 机械工程 自动化与计算机技术 文化科学
王占奎
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作品数:65被引量:195H指数:7
发文主题:化学机械抛光 抛光辊 研抛 抛光垫 研磨
发文领域:金属学及工艺 机械工程 自动化与计算机技术 电子电信 理学
王雅慧
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作品数:17被引量:42H指数:4
发文主题:抛光辊 化学机械抛光 ROLL-TO-ROLL 子层 单轨
发文领域:交通运输工程 机械工程 文化科学 自动化与计算机技术 金属学及工艺
姚建国
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作品数:9被引量:26H指数:3
发文主题:化学机械抛光 抛光辊 辅助剂 ROLL-TO-ROLL 研抛
发文领域:金属学及工艺 电子电信 化学工程 文化科学 语言文字
陈佳鹏
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作品数:3被引量:11H指数:3
发文主题:化学机械抛光 ROLL-TO-ROLL 抛光辊 材料去除率 氧化剂
发文领域:金属学及工艺 机械工程 理学
张文庆
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作品数:11被引量:5H指数:1
发文主题:团簇 化学机械抛光 抛光辊 ROLL-TO-ROLL NP
发文领域:理学 自动化与计算机技术 化学工程 文化科学 一般工业技术
陈强
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作品数:167被引量:458H指数:10
发文主题:原子层沉积 等离子体 大气压 类金刚石薄膜 性能研究
发文领域:一般工业技术 理学 金属学及工艺 化学工程 轻工技术与工程
付成果
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作品数:1
发文主题:抛光辊 辅助剂 光固化树脂 喷淋装置 生物质颗粒
发文领域:自动化与计算机技术 化学工程 医药卫生 金属学及工艺 农业科学
李勇峰
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作品数:24被引量:83H指数:6
发文主题:捕集装置 化学机械抛光 研抛 施镀 子层
发文领域:金属学及工艺 化学工程 电子电信 自动化与计算机技术 文化科学
杨辉
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作品数:22被引量:51H指数:4
发文主题:分流孔 型材 金属材料 铝合金 MSP430
发文领域:金属学及工艺 自动化与计算机技术 机械工程 文化科学 一般工业技术
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