基台

作品数：325被引量：785H指数：15
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张鸣
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作品数：57被引量：258H指数：9
发文主题：光刻机 六自由度 平面电机 位移测量系统 工位
发文领域：机械工程 电子电信 自动化与计算机技术 文化科学 电气工程
朱煜
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作品数：155被引量：722H指数：14
发文主题：光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
发文领域：自动化与计算机技术 机械工程 电子电信 电气工程 理学
徐登峰
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作品数：16被引量：49H指数：5
发文主题：光刻机 工位 平面电机 六自由度 基台
发文领域：自动化与计算机技术 文化科学 电子电信 一般工业技术 理学
汪劲松
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作品数：193被引量：1937H指数：23
发文主题：光刻机 并联机床 机器人 三自由度 并联机构
发文领域：自动化与计算机技术 金属学及工艺 机械工程 文化科学 电子电信
尹文生
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作品数：94被引量：474H指数：10
发文主题：光刻机 六自由度 平面电机 工位 直线电机
发文领域：自动化与计算机技术 机械工程 电子电信 文化科学 金属学及工艺
段广洪
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作品数：161被引量：1249H指数：17
发文主题：光刻机 工位 平面电机 基台 并联机床
发文领域：机械工程 自动化与计算机技术 金属学及工艺 环境科学与工程 一般工业技术
胡金春
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作品数：29被引量：120H指数：6
发文主题：光刻机 六自由度 平面电机 工位 掩模
发文领域：自动化与计算机技术 文化科学 电子电信 机械工程 兵器科学与技术
武延兵
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作品数：1被引量：3H指数：1
发文主题：显示装置 显示技术 显示面板 基板 光栅
发文领域：自动化与计算机技术 电子电信 文化科学 理学 机械工程
钱文昊
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作品数：54被引量：235H指数：9
发文主题：种植牙 颊面管 磨牙 基台 口腔正畸
发文领域：医药卫生 化学工程 理学 自动化与计算机技术 文化科学
周延民
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作品数：311被引量：1203H指数：14
发文主题：种植体 富血小板纤维蛋白 PRF 牙种植 牙种植体
发文领域：医药卫生 文化科学 生物学 自动化与计算机技术 化学工程
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