压阻式压力传感器

作品数：187被引量：755H指数：14
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黄庆安
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作品数：277被引量：656H指数：11
发文主题：MEMS 风速风向传感器 无源无线 微机电系统 微电子机械系统
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 机械工程 电气工程 一般工业技术
聂萌
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作品数：17被引量：59H指数：5
发文主题：MEMS 压阻式压力传感器 原位 灵敏度 高灵敏度
发文领域：自动化与计算机技术 电子电信 一般工业技术 文化科学 机械工程
梁庭
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作品数：152被引量：385H指数：9
发文主题：压力传感器 高温压力传感器 无线无源 MEMS 光纤
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 机械工程 理学 电气工程
张大成
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作品数：59被引量：259H指数：8
发文主题：微电子机械系统 MEMS 刻蚀 硅 键合
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 机械工程 一般工业技术 生物学
刘理天
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作品数：294被引量：646H指数：10
发文主题：MEMS 硅基 硅 压力传感器 微机械
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 电气工程 机械工程 一般工业技术
王权
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作品数：35被引量：115H指数：5
发文主题：压阻式压力传感器 高温压力传感器 氮化硅薄膜 SIMOX 绝对压力传感器
发文领域：自动化与计算机技术 电子电信 理学 一般工业技术 机械工程
熊继军
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作品数：269被引量：922H指数：12
发文主题：无线无源 MEMS 压力传感器 传感器 高温压力传感器
发文领域：自动化与计算机技术 电子电信 机械工程 理学 一般工业技术
丁建宁
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作品数：270被引量：889H指数：12
发文主题：钙钛矿 太阳能电池 SUB 性能研究 石墨烯
发文领域：一般工业技术 电气工程 机械工程 理学 自动化与计算机技术
杨芳
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作品数：2被引量：13H指数：2
发文主题：刻蚀 微电子机械系统 MEMS器件 压阻式压力传感器 牺牲层
发文领域：自动化与计算机技术 兵器科学与技术 电子电信 政治法律 医药卫生
赵立波
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作品数：46被引量：123H指数：6
发文主题：传感器芯片 电极 传感器 压阻 芯片
发文领域：自动化与计算机技术 文化科学 一般工业技术 机械工程 电子电信
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