陈燕艳

作品数:1被引量:5H指数:1
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供职机构:浙江师范大学信息科学与工程学院更多>>
发文主题:阳极氧化厚膜多孔硅阴极还原更多>>
发文领域:电子电信更多>>
发文期刊:《Journal of Semiconductors》更多>>
所获基金:上海市科学技术发展基金国家自然科学基金更多>>
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多孔硅新的表面处理技术被引量:5
《Journal of Semiconductors》2005年第2期406-409,共4页虞献文 陈燕艳 应桃开 程存归 郁可 朱自强 
国家自然科学基金 (批准号 :6992 5 40 9);上海市科学技术发展基金 (批准号 :0 15 2 110 66;0 12 2 610 2 8)资助项目~~
对多孔硅施加阳极氧化表面处理技术 ,可有效解决多孔硅干燥时出现龟裂及坍塌 ,破坏原有多孔硅的形貌和本质的问题 .阳极氧化表面处理技术就是使用少量的负离子作用于多孔硅表面 ,满足SI分子化合价的需要 ,消除悬空键 ,促使多孔硅表面性...
关键词:阴极还原 阳极氧化 表面处理技术 厚膜 
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