韩颖

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：上海大学机电工程与自动化学院更多>>
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纳米工作台定位控制研究被引量：1
《机械制造》2009年第1期7-9,共3页韩颖 陆林海 
国家"863"高技术研究发展计划项目(编号:2002AA404450);教育部高等学校重点学科建设资助项目(编号:Y0102);上海市重点学科建设资助项目:(编号:BB67)
介绍了基于宏微两级驱动方式的纳米工作台定位系统,重点在对宏微动态切换时宏动台固定与否对其自身振动情况的影响进行测试分析。研究表明,宏动台被锁定后可以明显减小其台面振动幅度,对后面微动台以及整个系统定位精度的提高起着关键...
关键词：纳米工作台 精密定位 宏运动 微运动 
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