袁为民

作品数：2被引量：1H指数：0
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供职机构：东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室更多>>
发文主题：H型亚微米混频KINDEAM更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《Journal of Southeast University(English Edition)》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
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Frequency response of a new kind of silicon nanoelectromechanical systems resonators
《Journal of Southeast University(English Edition)》2012年第3期310-314,共5页于虹 袁为民 刘春胜 岳东旭 吴士杰 顾勇 陈志远 黄庆安 
The National High Technology Research and Development Program of China(863 Program)(No.2007AA04Z301)
Diffraction effects will bring about more difficulties in actuating resonators,which are electrostatically actuated ones with sub-micrometer or nanometer dimensions,and in detecting the frequency of the resonator by o...
关键词：nanoelectromechanical system resonant frequency over-etching nano-beam 
H型亚微米梁的混频特性测量被引量：1
《纳米技术与精密工程》2011年第4期305-309,共5页于虹 袁为民 岳东旭 
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2006CB300404);国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2007AA04Z301)
本文简述了H型亚微米梁的工艺实现过程,从实验上详细研究H型梁的两种混频方式:向下混频和向上混频.考察的H型梁长度分别为8μm、10μm、12μm和15μm,小激励下谐振频率分别为13.30 MHz、8.77 MHz、6.12 MHz和3.65 MHz.通过在梁上施加两...
关键词：H型亚微米梁 混频特性 窗口效应 静电激励 
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