陈英俊

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供职机构：中国科学院长春光学精密机械研究所更多>>
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用于微机械工艺的精密电铸设备
《光学精密工程》1995年第3期60-63,共4页陈英俊 徐峰林 宣明 
国家重点自然科学基金
本文介绍用于微型机械ＬＩＧＡ工艺的精密电铸设备。文内给出了精密电铸设备的技术参数、系统结构、软件流程及初步实验效果。此设备填补了国内微机械精密电铸设备的空白。
关键词：微型机械 LIGA工艺 精密电铸设备 
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