黄楚勇

作品数：1被引量：2H指数：1
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供职机构：云南大学更多>>
发文主题：掺锗分束器光耦合器集成光学紫外写入更多>>
发文领域：理学机械工程自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《激光与光电子学进展》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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紫外曝光法制备高掺锗光波导分束器及耦合器被引量：2
《激光与光电子学进展》2013年第9期166-173,共8页任一涛 黄楚勇 罗金龙 
国家自然科学基金(60867002);云南省高校科技创新团队支持计划
通过优化氮氧化硅薄膜的制备，获得均匀平整、掺锗浓度高的氮氧化硅薄膜。在优化光波导耦合器设计、载氢、紫外曝光等过程的基础上，利用KrF准分子激光，在掺锗氮氧化硅平面光波导中制备出了单模条形波导以及波导型耦合器和分束器。紫...
关键词：光学器件 紫外写入 平面光波导 折射率 光耦合器 集成光学 
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